图为华海清科新厂区一角。李国正摄

　　日前，华海清科举行新厂区启用仪式，新厂区总建筑面积5.3万平方米，涵盖生产厂房、测试车间及相关配套设施，具有年生产半导体装备100台以上、晶圆再生年产120万片的能力。

　　据了解，2013 年，天津市津南区与清华大学共同成立华海清科，以集成电路产业需求为导向，着力在关键领域、卡脖子的地方下大功夫，经过8年多的科技创新和拼搏发展，产品性能达到了国际先进水平，已经成为国内唯一能够实现 12 英寸 CMP 设备量产的高端半导体装备供应商，实现了国内市场CMP设备领域的国产替代，其CMP设备出货到国内外集成电路大生产线已过百台。本次新厂区启用将进一步扩大高端半导体装备，特别是高端CMP设备和减薄抛光一体机的生产能力，进一步提高在化学机械抛光相关领域的研发和服务能力，为津南区创建“双碳”工作先行示范区和绿色高质量发展注入新动能。（记者 李国正）

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