提起芯片，大家會想到晶圓、光刻機這些耳熟能詳的原材料或設備，其實它的制造過程還離不開一類工業氣體——電子特種氣體的“精雕細琢”。“你看芯片這麼小，卻布局成千上萬個電子元器件，怎麼做到的？電子特氣就像‘畫筆’，完成光刻、刻蝕、沉積、摻雜等核心工藝環節，讓芯片設計師在晶圓‘畫布’上盡情‘揮毫’。”這幾天，天津綠菱氣體有限公司一派緊張忙碌，最新投建的南港廠區正加緊中試生產，不少國內外知名半導體制造商陸續前來審廠，見到副董事長王劍時，他剛從企業的北京營銷管理中心趕到天津總部。

電子特氣如此重要，但因技術門檻高、驗証周期長等原因，常年被國外幾大巨頭壟斷，影響我國半導體產業發展。扎根天津十余年的綠菱一門心思爭口“氣”，打破諸多卡脖子技術，讓中國制造不再“氣短”的同時還將產品出口海外，深受全球知名半導體制造商的認可和信賴，能做到這一點的企業在國內屈指可數。天津為了培育這些“一身絕技”的中小企業茁壯成長，引導更多企業練就“拿手絕活”，構建了制造業領航、單項冠軍、專精特新“小巨人”、專精特新、創新型中小企業梯度培育體系，不斷壯大優質企業群體規模。今年上半年，本市新增（含復評）713家市級專精特新中小企業，2022年這個數字還是509家。“企業越來越意識到走專精特新之路的重要性，下半年我們還將再評選一批專精特新中小企業，厚植發展沃土。”市工信局中小企業服務發展處相關負責人介紹。

就在上個月，本市公布“2023年第一批天津市級專精特新中小企業”和“第四批市級制造業單項冠軍”，綠菱一舉囊括兩項榮譽，憑的是什麼？“綠菱研發生產的多種電子特氣產品都是國內首個，部分產品市場佔有率全球領先”在甲類車間，王劍告訴記者，“企業堅持‘專精特新’，從2001年成立，始終致力於研發生產各種高純度電子特氣﹔工藝流程持續改進，精益求精﹔努力實現產品的差異化、特色化，2007年我們獲得法國液化空氣集團 ‘最佳新晉供應商’，2015年獲得德國林德公司‘優選供應商’﹔堅持讓創新驅動企業發展，近年來投入研發經費佔營收10%以上，目前正在規劃建設面積八百余平方米的研發中心，未來結合市場需求，進行新品的小試、中試和產業化，力爭填補更多國家空白。”

此次投資3.2億元的南港廠區正是本市重點項目之一，預計年內全面投產后，可實現年產6000噸、40多個品種類別的電子特種氣體產品，服務於半導體集成電路、光伏、光纖等領域。據王劍介紹，天津的集成電路產業放眼全國都是非常完備且有實力，加之工信部門、南港工業區等給予企業大力幫扶以及政策指導，給了綠菱廣闊成長空間。

綠菱在工信、金融等部門指導下瞄准上市之路的想法與本市一眾專精特新中小企業不謀而合。市工信局相關負責人介紹，優質中小企業創新能力強、成長性好，是提升產業鏈供應鏈穩定性和競爭力的基礎力量，是推動經濟高質量發展的重要驅動。天津中小企業申報專精特新的積極性和數量逐年提高，截至目前，有效期內專精特新企業達1579家，較2020年末的452家增長了249.34%。

“優質中小企業梯度培育的核心是企業不斷增強內生動力。”該負責人表示，市、區工信部門將發揮服務企業議事協調機制作用，著力構建政府公共服務、市場化服務、公益性服務協同促進的服務體系，引導各類服務機構加大對優質中小企業的服務幫扶力度，通過搭建創新成果對接、大中小企業融通創新、創新創業大賽等平台，為中小企業提供全周期、全方位、多層次服務，激發涌現更多“專精特新”。（記者史鶯）

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